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庫卡機器人---庫卡機器人開發用于半導體生產的移動機器人
發布時間:2019-08-19        瀏覽次數:486        返回列表

自動處理晶圓:KUKA晶圓處理解決方案

憑借庫卡晶圓處理解決方案,庫卡機器人已從單一來源開發出世界性的自動轉移和處理半導體盒式磁帶的解決方案。該應用程序包括一個標準化的自動導引車(AGV)和經過服務驗證的庫卡 LBR iiwa 輕型機器人。此外,還開發了一種精密的夾具系統。該軟件也來自庫卡機器人。

半導體行業潔凈室環境的庫卡機器人解決方案

移動性由KMR 200 CR移動平臺提供。該平臺具有麥克納姆輪,可實現全向運動。平臺上的傳感器實時感知環境,從而避免碰撞。支持人機協作的庫卡 LBR iiwa 機器人安裝在平臺上。庫卡機器人的靈敏度使其能夠安全地處理敏感的晶圓盒而不會產生振動。該應用程序的第三個組件是定制的夾具。夾具系統已獲得庫卡機器人公司的知識權。

軟件控制移動機器人車隊

用于晶圓處理的潔凈室應用的硬件和軟件均來自庫卡機器人。晶圓處理軟件解決方案無縫融入半導體制造商的制造執行系統。集成到軟件中的車隊經理控制轉移訂單,以確保極佳自動化半導體生產。所有解決方案均來自單一來源并經過認證。這導致極短的調試時間,使該系統成為市場上極具靈活的處理系統。

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